產品詳情
Aera FC-7700
特點: 橡膠密封
應用: 兼容各種氣體
參數: 量程比100:1 精度1%F.S
描述: 模擬氣體質量流量控制器
市場價: 0.0
產品詳情

模擬金屬密封;
流量范圍:10 sccm-5 slm;
精度:≤±1% FS ;
最大進氣壓力:140 psi(981 kPa)
美國Aera FC-7700系列質量流量計

優點:
高性價比
響應速度快:小于2秒
無與倫比的可靠性:使用一年以上,零點漂移小于滿量程的0.5%
易于集成:標準接頭和尺寸
出眾的效果:高品質膜層與蝕刻特性

特性
非金屬密封
VCR連接
量程范圍從10SCCM到150SLM
常閉或常開式電磁閥
允許最大清洗流量:高達最大校準值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)

FC-7700氣體質量流量計的詳細資料:
Adcanced Energy 的Aera FC-7700系列產品是實踐驗證的適用多種應用的場合的標準產品,該流量計采用非金屬密封,流量控制精確,性價比高。該產品專為從業于半導體、平板顯示、數據存儲、工業真空和工業鍍膜市場的工藝和設備工程師設計,同時,該系列產品在CVD、PVD、蝕刻、離子注入、濺射、熱氧化、光學玻璃鍍膜、光纖、表面處理以及其它鍍膜工藝等腐蝕性氣體應用領域表現出良好的可靠性和優異的性能。
性價比高:
FC-7700系列產品專為那些要求頂極性能,但不要求具有耐腐蝕性或超高漏率要求的應用而定制,不僅性價比好,而且控制精度非常高。
響應速度快:
FC-7700系列產品采用最新技術設計,工作性能遠遠優于同類質量流量控制器MFC.其先進之處包括:采用了一種敏感性強、響應速度快的小直徑傳感器。另外,與采用低速熱敏閥的同類產品相比,FC-7700系列產品采用常開或常閉式電磁閥,具有較快的響應速度。提高響應速度之后,避免了出現過沖,達到設定點的時間不到2秒--在所有帶標準電磁閥的質量流量控制器產品中是最快的。
無與倫比的可靠性:
由高質量的電子組件和采用耐用、最少元器件的設計理念,這使它可以經受強射頻場的干擾,滿足其它運轉要求,并具有同類產品中最佳的零點漂移穩定性--使用超過一年,零點漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25,000件以上產品中,僅有不到0.5%的產品在出貨一年內返修。
易于集成:
替換其它品牌,即可輕松獲得Area質量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的優勢,且不會遇到安裝方面的麻煩。特定型號的產品帶有標準電氣接頭并具有臨界尺寸,可輕松裝入現有的系統。
出眾的效果:
FC-7700系列質量流量控制器帶給您的不僅僅是薄膜和刻蝕工藝的一致性,同時還有高度的可重復性。
型號參數:



類別FC-7700、7700C、7700CD、7700CUFC-7710、7710C、7710CD、7710CUFC-7720、7720C、7720CD
滿量程范圍10sccm到5slm6到20slm35到150slm
20到50slm
響應時間到達設定點±2%所需時間<2到達設定點±2%所需時間<3
精度滿量程±1%范圍內滿量程±2%范圍內
線性度滿量程±0.5%范圍內滿量程±0.5%范圍內滿量程±1%范圍內
滿量程±1%范圍內
重復精度滿量程±0.2%范圍內
漏率最大值1×10-6atm-cc/秒(氦)
控制范圍滿量程的5到100%
壓差7至40 psi10至40 psi(517至2069托)21至40 psi(1086至2069托)
(362至2069托)14至40 psi(724至2069托)
正常工作壓力50 psi(2586托)
最大入口壓力最大值150 psi(7740托)
溫度范圍5至45℃



注:可根據不同客戶的需求,選擇全金屬密封的FC-7800CD系列,數字型的FC-D770系列,全金屬密封及數字型的FC-D980系列。

FC-7800_模擬金屬密封質量流量控制器
模擬金屬密封; 流量范圍:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% FS ; 最大進氣壓力:140 psi(981 kPa)

FC-D980_數字式金屬密封質量流量控制器
數字式金屬密封; 流量范圍:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% of set point(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS); 最大工作壓力:70 psig(490 kPag)

若需要各種品牌和型號MFC請與我聯系



Specifications

perational

FC-R7700CD/FC-R7700D Series

FC-R7710CD/FC-R7710D  Series

FC-R7720CD/FC-R7720D  Series

Full-Scale Range

10 sccm to 5 slm

N/O: 6 to 20 slm*  N/C6 to 50 slm**

35 to 200 slm

Response Time

< 2 sec to  within ±2% of full  scale

< 3 sec to  within ±2% of full  scale

Accuracy

±1% of full scale

±2% of full scale


Linearity

± 0.5% of full scale

± 0.5% of full scale1  

±1% of full scale

Repeatability

± 0.2% of full scale


Leak Integrity

1x10-6  atm-cc/sec (He) max; 1x10-7 Pa?m3 /sec (He) max


Control Range

2 to 100% of full  scale2


Differential  Pressure

7 to 40 psiD

10 to 40 psiD 14 to  40 psiD

21 to 40 psiD3

Normal Operating  Pressure

70 psig


Maximum Inlet Pressure  

140 psig  


Temperature Range

5 to 45°C (41 to 113°F)


* N/O: Normally Open Valve Model, ** N/C: Normally Closed Valve Model

※1: Less than ±1% for Full Scale Flow greater than 30SLM

※2: 5~100% for Full Scale Flow greater than 150SLM

※3: 28~43 psiD for Full Scale Flow greater than 150SLM

Physical

FC-R7700CD/FC-R7700D  Series

FC-R7710CD/FC-R7710D  Series

FC-R7720CD/FC-R7720D  Series

Control Valve Type

Normally-open or  normally-closed solenoid

Seals

Fluoroelastomer or  Chloroprene Rubber

Materials

Stainless-steel  type 316(L), PTFE, Magnetic Stainless, Fluoro Rubber, Chloroprene Rubber

Standard Fittings

1/4" VCR?, 1/4" VCO?, 1/4" Swagelok? compatible

1/4" VCR?, 3/8" VCR?

Attitude Sensitivity  

May be mounted in  any position

Top Connector  Position Recommended

Weight

1.0 kg (2.2 lb)

2.27 kg (5.0 lb)

Input Power

+15 VDC ±2% at 25 mA -15 VDC ±2% at  180 mA


+15 VDC ±2% at 25 mA -15 VDC ±2% at  200 mA

Power Consumption

3.1 W max


3.5 W max

Input Command  Signal

0 to 5 VDC



Output Indication

0 to 5 VDC



Product Type

Mass flow controller

FC-

RoHS Compliance

Compliant with RoHS directives

R

Full-Scale Range

10 sccm to 5 slm

7700

6 to 50 slm

7710

51 to 200 slm

7720

Control Valve

Normally-closed

C

Normally-open

(Blank)

Connector

Aera? 9-Pin D

D

Fittings

1/4 VCR?compatible

4V

3/8 VCR?compatible (772x  series only)

6V

1/4 VCO? compatible (770, 771 series only)

4O

1/4 Swagelok? compatible

4S

3/8 Swagelok? compatible (772x series only)

6S

Gas

Type of gas

N2

Flow

Flow range of gas (sccm or slm)

200

Single-Gas Example

FC-

R

7700

C

D

4V

N2

200 sccm

(MFC, RoHS  compliant, 9-pin D connector, normally-closed valve, 1/4 VCR? fittings, N2 gas, 200 sccm full-scale range)




Dimensions


FC-R7700CD/ FC-R7700D Series

FC-R7710CD/ FC-R7710D Series

FC-R7720CD/ FC-R7720D Series

A

12.7 mm (0.5)

12.7 mm (0.5")

15.0 mm (0.6")

B

76.0 mm (3.0)

78.5 mm (3.09")

133.5 mm (5.3)

C

124.0 mm (4.9")

124.0 mm (4.9")

1/4 VCR fittings: 183.8 mm (7.2")

3/8" VCR fittings: 192.3 mm (7.6")

D

18.3 mm (0.72")

18.3 mm (0.72")

25.5 mm (1.0")

69.0 mm (2.7")

69.0 mm (2.7")

101.5 mm (4.0")

F

119.0 mm (4.7")

119.0 mm (4.7")

151.0 mm (4.0")

G

125.0 mm (4.92")

125.0 mm (4.92")

152.6 mm (6.0")

H

32.0 mm (1.3")

32.0 mm (1.3")

37.5 mm (1.5")

I

5.0 mm (0.2")

3.5 mm (0.14")

15.0 mm (0.6")









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