產品詳情
Amass質量流量控制器
特點: 橡膠/金屬密封
應用: 兼容各種氣體
參數: 量程比100:1 精度1%F.S
描述: 模擬氣體質量流量控制器
市場價: 0.0
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產品應用                                                                                                                  


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技術參數

技術指標:    Amass質量流量控制器Amass質量流量計
量程范圍:     10SCCM-200SLM

測控范圍:     控制器閥控范圍50:1 流量計量程比100:1
準 確 度:     流量:±1%F.S
重復精度:     ±0.2%F.S
響應時間:     ≤2S
模 擬 量:     0~5V
供    電:    ±15V
工作溫度:     0~50℃
工作壓力:     工作壓差:0.03~0.5MPa 工作壓降:<0.01Mpa
最大耐壓:    6MPa
電氣連接:     DB15孔
漏    率:     1×10-9SCCSHe
溫度系數:     ±0.015%F.S/℃
底座材質:     鋁合金或316L不銹鋼
密封材料:     氟橡膠,氯丁橡膠,丁晴橡膠
接    頭:    VCR1/4;swagelokφ6 以及客戶指定



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